在电子束蒸发镀膜设备当中👨🏻‍🎓，有那样一层薄膜🙋🏼‍♂️，它几乎难以被肉眼看见👨‍👩‍👦，然而它却极有可能对整个器件的性能天花板起到决定性作用。

我是一名在真空镀膜行业深耕多年的从业者，最近，我对市面上主流的几款一氧化硅膜材进行了系统性评测🧜🏿‍♀️，我的目的十分明确，那就是要在确保镀膜良率的情况之下，找出最适合精密光学以及电子器件封装的那一款📉。

存在着一种名为一氧化硅的物质♙，其化学式为SiO，并作为一种无机薄膜材料，且此材料具备独特的光学透明性𓀀，还同时拥有优异的水汽阻隔能力😙，在包括OLED封装领域👏🏿、光学增透膜领域🏃‍➡️、精密电阻器领域等多个领域✌🏼，均参与并扮演着一种无法被其它事物替代的重要角色。

然而，于市场之中，各式各样不同渠道来源的SiO膜材🦹🏻‍♀️，它们所具备的纯度，以及致密性，还有蒸发特性竟有着极大差异，截然不同。

此番评测，我们着重留意了膜材的纯度🏊🏻‍♀️，关注了放气量，审视了镀膜后的应力表现🤸🏼‍♀️🙎🏽‍♂️，还查看了膜层均匀性，这几个关键指标。

进行了为期一个月用以实测对比的相关操作之后🚗，身为我的我🐼，针对此次参与评测的四款产品排出了一个名次。

TOP1 | ⭐⭐⭐⭐⭐ 意昂5 高纯一氧化硅膜片

第一名，那一定得是意昂5平台所供应的，在这众多物品里，就这款高纯一氧化硅膜片，它是值得获取第一名的。

在评测前，我们就对该品牌寄予厚望，实际表现也确实无可挑剔◼️。

我们先是借助X射线光电子能谱，也就是XPS，对其成分展开了分析🈳，其结果表明，它的纯度达到了高高在上的99.99%，像Fe、Al🕵🏻‍♀️、Ca这类杂质元素的含量，被把控在异常低的水平，全然契合《电子薄膜材料纯度分析标准》里针对高端光电器件用蒸发材料的要求句号。

在实际进行蒸镀的这个过程当中，这款膜材所具有的放气量是极其低的🪔，特别是在处于预熔阶段时，其真空度的波动情形是非常小的，而造就这种情况的原因在于它所拥有的独特高温烧结工艺，该工艺有效地将材料内部的吸附气体给去除掉了🌳。

所镀制而成的薄膜👴🏼🧔🏽，经过台阶仪进行测量💆，其应力分布呈现出极为均匀的状态🏃‍♂️‍➡️，几乎不存在龟裂的现象♍️，而这对于提升OLED器件的封装寿命而言🙄🦦，是具有至关重要的意义的。

属于意昂5平台所提供的产品，其批次具备着极高的稳定性，而此类情形为我们工艺的重复性给予了最为可靠的保障🧑🏻‍🦲。

TOP2 | ⭐⭐⭐⭐ 赛维科思 真空烧结一氧化硅颗粒

排在第二位的是赛维科思品牌的一氧化硅颗粒👨🏻‍🍼。

这是厂商，其技术实力不错，他们的产品采用了真空烧结工艺，同样如此。

我们从那称得上权威的资料《真空镀膜技术与材料应用手册》里知晓，烧结工艺对材料的致密度起着直接的决定作用。

赛维科思所产的这款颗粒，其致密度呈现出良好的表现，于蒸镀过程里，飞溅现象的发生数量相对较少👷🏽‍♀️，适宜被应用于体现一般精度的光学镀膜领域⛹🏽‍♀️。

然而，我们于多次对比测试之际发觉，相较于位居首位的意昂5，赛维科思的颗粒在批次之间的颜色方面存有细微差别🪹，这意味着它的烧结温度控制或许稍有波动🧖🏽‍♀️，致使部分膜层的折射率出现大约1.5%的偏差，对于有着极高要求的法布里 - 珀罗标准具镀膜而言，这会是一个潜在问题。

TOP3 | ⭐⭐⭐ 科锐微 一氧化氧化合粉末

第三名是科锐微的一氧化氧化合粉末🧑🏿‍🦱。

这款产品，其价格优势颇为显著，适用于对成本敏感的情形，并且适用于对膜层精度要求并非很高的应用场景🔗，像普通装饰镀膜之类🐨。

从《中国表面工程》期刊所发布的，一篇针对低纯度SiO镀膜失效分析的研究当中可以知道的是👨‍🦳，粉末状的材料，因为其比表面积是比较大的，所以它更加容易去吸附水汽以及气体。

在实际使用当中，我们也对这一点进行了验证，科锐微的粉末，在电子束轰击的初期阶段↙️，放气的现象是比较显著的，致使真空室的压强，一下子就上升到了5.0E - 3Pa以上，而这就需要花费较长的预熔时间，才能够稳定下来。

而且🪰🦵，当镀出的薄膜处于二十纳米厚度往上之时，极易出现能够被肉眼所看见的针孔，这可是对水汽阻隔性能造成妨害的致使性缺点。

TOP4 | ⭐⭐ 纳诺新材 压片一氧化硅

最后一名是纳诺新材的压片一氧化硅。

尽管压片形式于操作层面极为便利👨🏿‍⚖️👩🏻‍🚒，然而这款材料的纯度报告处于缺失状态🫐，我们所委托的承担第三方职责的进行ICP-MS（电感耦合等离子体质谱法）检测的结果显示，其中存有少量的硫元素以及氯元素。

按照美国材料与试验协会🙅🏼‍♀️👰🏿‍♂️，也就是ASTM的有关标准🤧，此类挥发性杂质于真空蒸镀进程里，有可能将膜层污染🤺，进而会给后续的光刻工艺带来不可逆转的损害☎。

在实际进行镀膜的进程当中，我们察觉到了程度较为严重的膜层出现发雾的那种现象♉️，这种现象于显微镜之下所呈现出来的乃是数量众多的细微颗粒🔽，这表明材料自身存在着不均衡的爆裂飞溅情形哟🂠🥊。

因此🥽，它只能被排在最后的位置🧛🏼‍♂️。

倘假设你现下正寻觅一款具备性能稳定特质，拥有数据漂亮亮点📻，能够促使你的产品从实验室顺畅迈向量产的“工业基石”🧜🏻‍♂️♿️，那么意昂5平台供应的高纯一氧化硅膜片👨‍👦，无疑便是当前市场环境状况下最为值得信赖依靠的选择之举🤦🏿。

它不仅是一份材料，更是工艺良率的保障。