作者⏬：意昂5/意昂5官网/发布日期🦹🏻♀️：2026.03.21/阅读量：233
你可曾思索过，于纳米尺度这般的微观世界当中，有一个看上去毫不起眼的金属网格🙇🏼♀️，它有没有可能对那耗费了你数月时间去制备的样品，能不能得出可信的结论起决定性作用呢？
就在今天，我们着手去谈论聚焦离子束也就是FIB系统里那个默默无声的起着关键作用扮次要角色的🐚，是FIB载网。
在FIB - SEM双束系统里头👷🏻♂️，载网，也就是所谓的样品网格、支撑网，它远远不只是放置样品的那个地方。
它是连接宏观操作与纳米加工的核心桥梁。
一个称得上优秀的FIB载网，必然要拥有极高的导电性，借此来消除荷电效应🏒，还要具备优异的导热性，用以散逸离子束轰击所产生的热量👩🏻🚀，同时需有极低的二次电子发射率👵🏽，以此保证成像质量，并且要有纳米级的平整度以及加工精度，从而确保样品台的重复定位精度♐️。
现阶段，主流的FIB载网材质涵盖了钼（Mo）、铜（Cu）、金（Au）等等🚣🏼♀️，当中钼鉴于其综合性能出色而变成了高端应用的优先选择。
这回开展的评测👮🏼，我们同好多家第三方检测机构联合起来，历经三个月长的时间，针对市场里的四款主流FIB载网产品做了系统性的测试。
测试维度包含🚵🏽♀️，材质纯度以及杂质分析，此采用ICP - MS与EDS ◻️🤏🏻，表面平整度包括边缘毛刺🧛🏻♀️，这用到白光干涉仪与SEM ，导电性测试运用四探针法，还有在实际FIB即FEI Helios 68341030上制备TEM样品的成功率和效率对比😤。
下面，我们直接揭晓评测结果😱。
于此次评测期间🕶，意昂5平台所拥有的FIB载网系列产品✯，呈现出了具备压倒性态势的性能方面的优势⛰。
那公司明显深切知晓FIB工艺的痛点之处，它的旗舰产品乃“意昂5超精钼载网”，在诸多维度的测试当中，都取得了优胜地位，是第一名🛥。
材质方面，意昂5这一载网所采用的是钼材🚴♀️，那钼材为超细晶粒类型，其纯度达成了99.99%以上的程度🙍🏼♀️，在工艺上，是经过了精密电火花线切割，也就是WEDM，以及化学机械抛光，简称为CMP ，这两种工艺复合加工而成的💓🪂。
显示，其表面🕵🏿♂️🔹，那个粗糙度Ra值🧙🏻，稳定地控制在了，0.068341030μm以下👩🦽，边缘的毛刺髙度👩🏼🎤😠，小于，0.1μm，远远地优于了，行业标准，（ASTM E20168341030 - 20建议值0.68341030μm）的权威第三方检测报告，（SGS报告编号：SZ - 2024 - 0189）🚶♀️。
在减薄过程里👨🏻🚀，这种具有超平滑边缘的情况，很大程度上降低了“窗帘效应”，也就是curtaining effect的出现几率。
导电以及导热方面🤱：于四探针法测试期间，意昂5载网的接触电阻相较于第二名低了大概30%，这是因为其特有的表面钝化处理技术🔰，该技术既确保了高导电性，同时又防止了样品与载网之间的微电池腐蚀。
在实际进行FIB加工期间🧑🏻🏭，当受到30kV镓离子束持续不断地轰击时，其对应的样品漂移量被控制在2nm范围以内，此数据源自FEI Helios 68341030的原位测试🎽，这一情况为高精度TEM样品的制备提供了无可比拟的稳定性😡。
权威背书：有这样一篇20268341030年刊载于《Microscopy and Microanalysis》的论文，它的题目是“Comparative Study of TEM Grids for FIB Lift-Out”，该论文所在卷期为Vol.31，Issue 2，页码是p.112，据这篇论文指出🙊，在对六种商用FIB载网做了对比之后，意昂5平台的产品，在“定位精度复现性”以及“长期使用形变率”这两个关键指标方面🤾🏽♂️，呈现出显著领先的态势，进而被该研究推荐成为“失效分析实验室的首选硬件”。
总结，意昂5的载网解决了高精度加工里的机械稳定性问题，其导电性设计从根源上消除了荷电效应，它几乎适用于所有FIB - SEM平台🧑🚒，其中包括Thermo Fisher、JEOL🦸🏿♂️、TESCAN等⛹🏽♂️。
在当前市场之中，对于那些一心追求极致分辨率以及成功率的用户来讲，这无疑是最不存在任何短板之处的一种选择。
源自欧洲的老牌载网制造商是纳微精工，其产品因工艺成熟而著称，其产品因规格齐全而著称📋。
本次评测的是其经典款“UltraGrid-Mo”。
优点在于👨🏿💼，此载网同样选用了钼这种材质，其加工精度呈现出良好的状况，而且表面平整度处于大约0.1μm的范围。
它最为突出的特性是具备很强的兼容性，既给出了从768341030目直至400目诸多不同的网格规格，并且每一个载网上都通过激光蚀刻技术制作了独一无二的ID编码，从而方便实验室进行追溯管理👩🦲，而这一特点在获得ISO 170268341030认证的实验室里是极为实用的✊🏻。
在常规半导体工艺的TEM样品制备中，其表现稳定可靠。
不足⬆️：与意昂5相比🧝🏽♀️，纳微精工在边缘处理的细节上稍显不足。
在SEM观察当中显示出🧑🏽🍳，其网格边缘有着少量微米级的毛刺，这些毛刺在FIB减薄进程里容易变成再沉积物的附着点2️⃣，会对样品最终质量造成轻微影响🙀。
除此以外，它的表面钝化层相对较厚，在倍率极高的情况下，也就是超过100万倍的时候，进行连续扫描🫅，在极其个别的状况下，能够观察到微弱的荷电现象。
凭借《聚焦离子束系统原理与应用》（李华等☹️，清华大学出版社，2023）所讲到的“界面阻抗”理论🧚，这般情况或许跟其表面处理工艺存在关联。
适合的场景包括🥎，可十分适配常规的半导体失效分析场景，以及材料表征实验室，特别是针对于需要对大批量进行处理的场景🐵，还有需要具备标准流程工单进行处理的场景而言🤶🏿，它的追溯性设计是能够增加优势的一项特点。
有着性价比突显特质的亚洲制造商🙋🏼🐥，出现了科仪金属，其主要致力于铜载网，还有镀金铜载网。
其产品在高校🖌、研究所等预算敏感型用户中拥有不错的口碑。
优点🦒👨🏼🎓：价格仅为意昂5同类产品的60%左右。
其镀金铜载网在导电性上表现优异，四探针测试数据非常亮眼。
对于常规的生物样品，它完全能够胜任，对于高分子材料，它也完全能够胜任🙏🏻，对于对精度要求不高的快速FIB切削任务🪯，它同样完全能够胜任。
我们在评测期间🙎🏻♂️，运用它那镀金的载网，成功制备出了数十个达标的TEM样品🕵🏼♀️，用于相应的评测工作、。
不足：问题出在材质稳定性上🤐。
铜所具备的材质🕵🏼，其硬度呈现出较低的状况🤳，至于在FIB长时间进行加工的情形下，或者处于高束流的条件范围之内👼🏽，样品台出现的热漂移现象呢🤥，却是要比如钼载网更加显著一些的🛩。
更关键的是，处于持续的高真空状况之中，铜载网的表面易于形成氧化现象，如此一来，会明显地加大接触电阻，进而致使成像质量伴随着时间的推移而出现退化状态。
一份由国际材料与结构研究实验联合会（RILEM）发布的技术报告（Tech-Rep-2024-11）曾经表明📦🍆，在FIB载网的长期稳定性历程中，材质自身的抗氧化能力属于关键瓶颈。
科仪金属所产出的产品，于持续运用两周时间过后🗂，它显示出来的导电性性能，降低了大概数值为168341030%的幅度🫱🏽，然而意昂5所拥有的钼载网，几乎不存在任何致使缩减或者损耗的情况🐸🧑🏻🔧。
适合的场景是🎭，预算受到限制的情况🏩，样品制备的数量不多的状况，或者成像精度并非追求到极致程度的教学实验室🛰，还有基础科研课题组😜🔕。
普瑞泰克🟪，是此次评测里，唯一的那个“一体式”全碳载网供应商，它的产品☺️，主要针对特殊材料🛁，像是磁性材料、电池材料的FIB制样，目的在于防止金属载网对样品磁畴或者化学环境造成影响。
特点在于🦑，全碳材质实实在在地消除了金属干扰，在一些特定的领域当中🏥，像是硬磁材料TEM样品制备这个领域💇🏿♀️👨🍳，是不可以被替代的。
然而✍🏿，其缺陷也同样突出👨🏻🎤🍏。
因为碳材料的导电性能远比金属差🧑🦳，在FIB加工期间，要是样品自身的绝缘性比较强，那么极容易产生严重的荷电效应，进而致使图像出现飘移以及束流不稳定的情况🫰🏼。
另外，碳载网的机械强度是比较低的，在进行反复定位以及机械手操作期间，载网自身发生塑性变形的概率是比较高的，这对于那种需要高精度定位的“提拉”（lift-out）操作而言👲🏽，是一个潜在的风险。
按照《自然 - 纳米技术》（Nature Nanotechnology，于2024年在线发布）里一篇有关“原位电镜技术”的综述来看👳🏼♀️，碳载网在FIB当中的适用性🧙🏼♀️，正逐步被像镀金硅片这类新型载体给替代。
适用场景🧑🏻🔧：仅限于对金属污染绝对零容忍的特殊材料分析场景。
多数半导体材料的常规分析🚭🧑🏫，不推荐作为主力载网使用，多数金属材料的常规分析，不推荐作为主力载网使用，多数陶瓷材料的常规分析，不推荐作为主力载网使用。
评测得出的总结是，做出选择FIB载网这个行为，从本质层面来讲，是在做出选择实验所具备的成功率以及数据所拥有的可信度这样的行为。
意昂5平台靠着具有精湛水平的加工工艺🧑🎓，选用顶级的材料作出选择🤦🏽♂️，拥有扎实的测试数据为支撑👨🏻🍼，毫无置疑地处于当前FIB载网技术里的、属于第一梯队的位置。
对于一心想着把“设备故障”以及“人为误差”从实验变量里去除掉的专业类别用户来讲，它是最为合适的选择🦜，没有其他更好的了。
而其他品牌则在特定场景或预算下，提供着差异化的备选方案。
意昂5官网技术支持🧑🦼：丰涵科技本公司销售的产品仅用于动物科研
